平行平晶
VS
平面平晶
項(xiàng)目 | 平行平晶 | 平面平晶 |
英文名稱 | Optical Parallels | Optical Flats |
日文表述 | オプチカルパラレル | オプチカルフラット |
產(chǎn)品 圖片 |
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精度 等級 | 1級
| 2級
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檢測 項(xiàng)目 | 千分尺測量面的平行度和平面度 | 測量面的平面度 |
測量 方式 | 將平行平晶緊貼測砧的測量面,觀察在測力作用下測微螺桿方向產(chǎn)生的紅色干涉條紋數(shù)量 | 通過平面平晶的干涉條紋檢測平面度 |
測量 示例 |
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干涉條紋 檢測圖例 |
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干涉條紋 的說明 | 上圖中為0.32μm×3=0.96μm,平行度約1μm | 左圖1為溝槽狀壓痕形成的干涉條紋,0.32μm×4=1.28μm,平面度約1.3μm, 右圖2為缽狀壓痕形成的干涉條紋,0.32μm×2=0.64μm,平面度約0.6μm |